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洁净室粒子在线监测系统
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洁净室粒子工作原理:采用光散射原理,当空气中悬浮粒子经过光敏区时,散射出与其粒径成一定比例的光通量,经光电转换、放大及处理后得到被采集粒子当量直径和数量。
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